2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[15a-A408-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 A408 (6号館)

一色 秀夫(電通大)、楢木野 宏(九大)

11:15 〜 11:30

[15a-A408-10] NVセンターを有するCVDダイヤモンド膜中の応力分布観察

加藤 有香子1、春山 盛善1、加藤 宙光1、小倉 政彦1、牧野 俊晴1 (1.産総研)

キーワード:NVセンター、ダイヤモンド、転位

ダイヤモンド結晶格子内でNV軸の向きが完全に揃っている状態のアンサンブルNVダイヤモンド膜を合成し、その膜中にある転位の周辺の歪み量とNVセンターの共鳴周波数との相関を解明するにあたり、内部応力分布を解析した結果を報告する。