[15a-A408-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-A408-6] 重畳されたマイクロ波を用いたプラズマCVDによるダイヤモンド結晶成長

〇山田 英明¹、茶谷原 昭義¹、杢野 由明¹、嶋岡 毅紘¹、弥政 和宏² (1.産総研、2.三菱電機)

キーワード：ダイヤモンド、マイクロ波プラズマCVD

ダイヤモンド結晶成長を指向したプラズマＣＶＤにおいて、波長の制限を打破し得る成膜手法の開発に取組んできた。マイクロ波重畳方式に着目し、重畳するマイクロ波の位相を制御することで、放電領域の形状制御や、成膜中の動的制御による成膜面積拡大の可能性を検証した。シミュレーションに基づき試験機を構築し、重畳させたマイクロ波間の位相を変化して放電領域の動的制御が可能かを実機にて確認した。上記放電を用いて単結晶基板上へ結晶成長試験を実施して、ダイヤモンド単結晶成長を確認した。講演にて詳細を述べる。