[15a-E102-1~10] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-E102-5] 岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛薄膜の真空紫外領域での光電流スペクトル（II）

〇日下 皓也¹、高坂 亘¹、小川 広太郎^1,2、金子 健太郎³、山口 智広¹、本田 徹¹、藤田 静雄⁴、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大学、2.オーク製作所、3.立命館大学、4.京都大学)

キーワード：酸化マグネシウム亜鉛、真空紫外線、光電流

岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛(RS-MgZnO)は真空・深紫外域で発光する半導体材料として期待される。前回はRS-MgZnOの光電流スペクトル測定、透過測定、カソードルミネッセンス測定を行い、VUV域での光学遷移過程を調査した。今回はMg組成を増加させた試料で光電流スペクトル測定を行い、光学遷移過程に関して引き続き調査した結果について報告する。