[15a-PA01-1~56] 17 ナノカーボン（ポスター）

[15a-PA01-31] 電子線照射によるグラフェンの電気特性への影響

乗松 正明¹、片岡 真紗子¹、阿曽 広之¹、須田 章一¹、林 賢二郎¹、〇近藤 大雄¹、佐藤 信太郎¹ (1.富士通)

キーワード：グラフェン、電子線照射、電気特性

本発表では、電子線照射のグラフェン素子への悪影響を抑えることを目的に、単層グラフェン素子への電子線照射の効果を電気特性により評価したので詳細を報告する。