[15a-PA01-1~56] 17 ナノカーボン（ポスター）

[15a-PA01-50] 接触面積制御型の非破壊電気コンタクト用ソフトプローブ

〇吉武 道子¹、小俣 香織²、兼松 秀行² (1.物材機構、2.鈴鹿高専)

キーワード：非破壊コンタクト、電気特性測定、極薄膜

AFMにおいて非破壊測定とみなされている弾性変形領域の圧力を，AFMのような精密な制御無しに目視で調整できるプローブを開発し報告した。このソフトプローブを用いると，脆い材料を破壊せずに電気特性測定や電圧印加を行うことができる。今回、コンタクト圧を変化させても電気的に接触している面積を一定に保つ必要がある電気容量測定など用に、接触面積が100μφ、50μφのプローブを安価に作製する方法を開発したので報告する。