[15a-PA01-1~56] 17 ナノカーボン（ポスター）

[15a-PA01-54] 反応性蒸着酸化アルミニウム膜による黒リンFETの大気安定化

〇吉峯 夕貴¹、小田 太一¹、稲田 貢¹、山本 真人¹ (1.関西大システム理工)

キーワード：黒リン、電界効果トランジスタ、パッシベーション