[15p-A402-1~9] 【一般公開】グリーントランスフォーメーションに挑む応用物理： 持続可能な未来社会に向けて

[15p-A402-4] 半導体製造グリーン化に向けた学術的課題：大量電力消費型産業からの脱却へ

〇堀 勝¹ (1.名大低温プラズマ)

キーワード：半導体、プラズマ

2050年のカーボンニュートラルを見据え、超低消費電力のデバイスの開発とともに，デバイス製造における電力の増大が大きな課題になっている。半導体工場の電力の1/3~1/2がプラズマプロセスで使用されており，プラズマを基軸にした製造装置やプロセスの省エネルギー化が極めて重要である。本講演では，大量電力消費型産業からの脱却に向けて，半導体製造のグリーン化に向けた学術的なアプローチの必要性について述べる。