[15p-A403-1~16] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-A403-12] MgCl₂-Mg融液を用いて作製したMg₂Siナノシート及びMg₂Si_1-xGe_xナノ構造体の微細構造

佐々木 啓悟¹、関野 海斗¹、古賀 友也¹、志村 洋介^1,2、〇立岡 浩一¹ (1.静岡大院工、2.静大電研)

キーワード：シリサイド半導体