[15p-A408-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-A408-13] 窒化炭素膜による電界効果トランジスタの作製

〇橘 昌希¹、樋口 航太¹、浦上 法之^1,2、橋本 佳男^1,2 (1.信州大工、2.信州大　先鋭材料研)

キーワード：グラファイト状窒化炭素、high-k