[15p-A408-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-A408-2] HiPIMSおよび高周波HiPIMS法を用いたDLC膜の化学結合評価

〇(DC)福江 紘幸¹、中谷 達行¹、岡野 忠之²、黒岩 雅英²、國次 真輔³、鷹林 将⁴、太田 裕己⁵、米澤 健^5,1 (1.岡山理大、2.東京電子、3.岡山工技セ、4.有明高専、5.ケニックス)

キーワード：ダイヤモンド様炭素膜、X線光電子分光法

本研究グループでは，薄膜の高機能化を図るための新しいHiPIMS法として，HF-HiPIMS電源の開発を行っている．本研究では，従来のHiPIMS法とHF-HiPIMS法を用いたDLC膜の化学結合について報告する．HF-HiPIMS法で成膜したDLC膜は，従来のHiPIMS法と比較して，ダイヤモンド結合が増加した．よって，HF-HiPIMS法の有効性を検証できた．