[15p-A501-1~7] 3.10 フォトニック構造・現象（旧3.11）

[15p-A501-4] 単結晶ダイヤモンドにおける中空リング構造の作製

〇河合 健太¹、勝見 亮太¹、飛沢 健¹、鳴瀬 駿¹、高田 晃佑¹、佐藤 大地¹、八井 崇¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：ダイヤモンド、NVセンタ、リング共振器

現在、量子ネットワークの大規模化に向け、集積光技術の開発が活発に行われている。とりわけダイヤモンド窒素—空孔(NV)中心は、単一光子源や量子中継器としての応用が提案されており、同ネットワークの大規模化にむけて注目が集まっている。しかし、NV中心のゼロフォノン線(ZPL)に関する利用効率が低く、量子ネットワーク大規模化のボトルネックとなる。そこで我々は、光閉じ込め効果によるZPLの増強とチップ上の集積性や機能性が期待されるリング共振器に着目した。一方、同構造を高品質に実現する為には、単結晶ダイヤモンドの微細加工技術の確立が必要不可欠である。今回、単結晶ダイヤモンドにおいて、斜めエッチングを用いることで、中空導波路を有するリング構造の加工に成功したので報告する。