[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

[15p-B309-19] ガス制御による光電子制御プラズマの形状制御

〇鷹林 将¹、塚嵜 琉太¹、古賀 永¹ (1.有明高専)

キーワード：光電子制御プラズマ

光電子制御プラズマはDCプラズマの一種であるが、放電開始トリガーの初期電子に光電子を用いていることが特徴である。光電子は基板に深紫外光(172 nm = 7.2 eV)を照射することにより発生させている。この放電は紫外光照射部位に限定されて発生するため、放電電圧と電流密度を精密に評価できる。本発表では、その圧力依存性について報告する。