[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

[15p-B309-2] 発光分光診断による CF B−X 遷移の振動温度の推定

〇小林 明¹、山下 雄也¹、砂川 晃伯¹、米田 和真¹、清田 哲司²、土居 謙太²、根津 篤¹、赤塚 洋¹ (1.東工大、2.アルバック)

キーワード：発光分光計測、振動温度、CF4/O2 混合プラズマ

エッチングに多用される CF₄/O₂ プラズマにおいて，処理条件の効率的な設計に資するために，プラズマのマクロパラメータと，装置パラメータの相関を得ることが求められている．本研究では，発光分光計測により得られた発光スペクトルに対してボルツマン分布を仮定し計算した CF B−X 遷移の理論スペクトルをフィッティングすることで，振動温度 T_v を推定した．