[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [15p-B309-8] 表面波プラズマにおけるfourier-bessel法による三次元再構成法

〇新元 美晴¹、三瓶 明希夫¹、比村 治彦¹、二宮 貴哉¹、稲垣 秦一郎¹ (1.京工繊大)

キーワード：プラズマプロセス、三次元モニタリング、表面波プラズマ

本研究ではプラズマプロセスにおける成膜の均一性の評価を目的とし、画像計測を用いた受動モニタリングシステムの開発の行なっている。異なる焦点距離の複数のレンズを持つレンズアレイを通した、プラズマ発光の撮影画像に対して、フーリエベッセル法を用いることで、プラズマ三次元分布を取得する。本発表では、テストデータに対して画像再構成を行い、カメラの視線との位置関係による精度を定量的に評価した結果について述べる。