[15p-B309-1~19] 8.1 プラズマ生成・診断

[15p-B309-9] 光ファイバーによる光学干渉非接触温度測定(OICT)系の小型化とリアルタイム温度測定

〇後藤 隆之介¹、堀内 憲志郎²、Jiawen Yu²、花房 宏明²、東 清一郎² (1.広大工、2.広大院先進理工)

キーワード：SiC、温度測定、光ファイバー

プラズマプロセスにおいてウェハ表面および内部の温度を直接測定することが工程管理上大変重要である.我々は,ウェハに裏面からレーザを照射し,ウェハの温度変化に伴いその反射光が干渉することを原理とした光学干渉非接触温度測定法(Optical-Interference Contactless Thermometry : OICT) を開発してきた. しかし, レーザ鏡筒と光学系を一体 配置した光学系が大きいため, 例えば真空装置内部のウェハ温度測定には設置場所の制約が大きいという課題があった.本研究では光ファイバーを用いてレーザと光学系を分離することでシステムの小型化を試みた. また, リアルタイム温度測定に向けた解析プログラムの構築を行った.