[15p-B401-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [15p-B401-10] 同一基板上に2つの活性層を持つ高集積なGaInN 系モノリシック型 μLED アレイ

〇齋藤 竜成¹、今泉 雄太¹、長澤 剛¹、小林 憲汰¹、末広 好伸¹、小出 典克¹、岩谷 素顕¹、竹内 哲也¹、上山 智¹ (1.名城大理工)

キーワード：マイクロLED、モノリシックLED

RGB-モノリシック型μLEDアレイの実現のためには，垂直性の高いメサ加工技術,同一基板上に高集積なRGB-LED構造を実現することが必要である．過去の報告では垂直性の高いエッチングを用い，高垂直性,高集積,高効率な単一活性層μLEDアレイを報告した．本報告ではRGB-モノリシック型μLEDアレイの実現に向け,同一基板上に緑,青に発光する高垂直性・高集積なモノリシック型μLEDアレイを作製した.