[15p-B401-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [15p-B401-11] 一括転写技術のためのマイクロLEDの中空構造形成技術

〇北出 泰己¹、神田 稜太¹、西川 敦²、Loesing Alexander²、関口 寛人¹ (1.豊橋技大、2.ALLOS)

キーワード：マイクロLED、転写技術、中空構造

我々はLEDの中空構造形成と熱剥離シートを用いた一括転写技術を確立することで，80µm角のLEDを1mm角に数十個集積した生体利用可能なLEDフィルムを実現した。神経細胞をより選択的に光刺激するために，5~20µmのサイズをもつ神経細胞と同じサイズのLEDの集積化が求められる。本研究では，LEDの中空構造の微細化に取り組み、KOH溶液温度を正確に制御することで再現性よく40µm角～100µm角のマイクロLEDの中空構造を形成できた。