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△ [15p-B401-12] 熱酸化プロセス温度がマイクロLEDの発光特性に与える影響
キーワード：マイクロLED、熱酸化
我々は光刺激と薬液投与が同時に可能なマイクロLED／流路神経プローブの開発を行っており，本研究では熱酸化法を用いた流路内へのSiO2保護層形成を目的とした．酸化プロセス前にKOH溶液による異方性Siエッチングを行うことで流路側面を平坦化した．次に熱酸化温度がLED特性に与える影響を調べ，750 ℃では長時間の熱処理でも光出力の低下がないことを確認した．これらを踏まえ，LED特性に影響のない流路内への均一なSiO2の形成を実現した．