PDF ダウンロード スケジュール 54 いいね! 0 コメント (0) 15:30 〜 15:45 △ [15p-B410-9] 【注目講演】加熱その場高分解能TEMを用いた薄膜Si固相結晶化過程の原子レベルリアルタイム観察 〇手面 学1、浅野 孝典1、高石 理一郎1、富田 充裕1、齋藤 真澄1、田中 洋毅1 (1.キオクシア(株)メモリ技術研究所) キーワード:固相結晶化、原子構造ダイナミクス、欠陥形成