2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[15p-B410-1~15] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2023年3月15日(水) 13:00 〜 17:30 B410 (2号館)

曽根 正人(東工大)、居村 史人(Hundred Semiconductors)

15:30 〜 15:45

[15p-B410-9] 【注目講演】加熱その場高分解能TEMを用いた薄膜Si固相結晶化過程の原子レベルリアルタイム観察

手面 学1、浅野 孝典1、高石 理一郎1、富田 充裕1、齋藤 真澄1、田中 洋毅1 (1.キオクシア(株)メモリ技術研究所)

キーワード:固相結晶化、原子構造ダイナミクス、欠陥形成