2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[15p-D511-1~11] 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2023年3月15日(水) 13:30 〜 16:45 D511 (11号館)

鈴木 秀俊(宮崎大)、神山 栄治(GWJ)

14:30 〜 14:45

[15p-D511-4] SiGe薄膜における歪み緩和と結晶傾斜への水素局在効果

〇(M2)加納 光樹1、宮本 聡1、黒川 康良1、宇佐美 徳隆1 (1.名大院工)

キーワード:シリコンゲルマニウム、水素、結晶欠陥