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[15p-PA01-55] 凹凸構造による異常ネルンスト効果を利用した熱流センサの高感度化
キーワード:熱流センサ、異常ネルンスト効果
異常ネルンスト効果を利用した熱流センサは、ゼーベック効果に比べ安価かつフレキシブルになることが期待されている。熱流束あたりの起電力を増大させるために磁性細線のアスペクト比(高さ/幅)に着目した。凹凸構造をもつ基板の凹凸部側面にCoをスパッタすることで大きなアスペクト比のある磁性細線を得た。結果として、アスペクト比の大きいCoほど異常ネルンスト電圧が大きくなることがわかった。