2023年第70回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[15p-PA06-1~4] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2023年3月15日(水) 16:00 〜 18:00 PA06 (ポスター)

16:00 〜 18:00

[15p-PA06-3] Ge-on-Si(111)上の歪みSiGe/Ge多重量子井戸形成におけるクラック発生の抑制

金澤 伶奈1、我妻 勇哉1、菊岡 柊也1、杉浦 由和1、山田 道洋3,4、浜屋 宏平2,4,5、澤野 憲太郎1 (1.東京都市大学、2.阪大基礎工、3.JST さきがけ、4.阪大基礎工 CSRN、5.阪大 OTRI)

キーワード:SiGe/Ge、多重量子井戸構造