[16a-A402-7~7] 8.7 プラズマエレクトロニクス分科内招待講演

[16a-A402-7] [分科内招待講演] ラジカル制御によるプラズマエレクトロニクスの進化

〇堀 勝¹ (1.名大低温プラズマ)

キーワード：プラズマ

プラズマエレクトロニクスは，半導体・材料から環境およびバイオ分野までを切り開き，多様な分野に新しい価値を創成する学際科学である。この科学において，ラジカルと固体および液体との相互作用やプラズマ中のラジカルが誘起する生体内でのラジカル反応の理解と制御に注目が集められている。本講演では，プラズマ中のラジカルの挙動を体系的に述べて，ラジカル制御によるプラズマエレクトロニクスの進化について展望する。