[16a-B410-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [16a-B410-5] Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの長期構造安定性に対する幾何学構造の影響

〇宮井 良介¹、栗岡 智行¹、Chun-Yi Chen¹、Tso-Fu Mark Chang¹、大西 哲¹、Parthojit Chakraborty¹、町田 克之¹、伊藤 浩之¹、三宅 美博¹、曽根 正人¹ (1.東工大)

キーワード：MEMS、金材料、長期構造安定性