[16a-B410-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [16a-B410-9] MEMS両持ちはりの共振特性

〇(B)赤松 儀優¹、神田 健介¹、前中 一介¹ (1.兵庫県大工)

キーワード：MEMS、構造非線形

本研究では，両持ちはり構造の周波数応答を測定し，既報の周波数特性予測数値計算手法の適用可否について検討した。両持ちはりの両端に電圧を加え，素子中央の変位を測定すると，変位増加により共振周波数がはじめは低周波側へ，初期ひずみを超えた変位になると高周波側へシフトする複雑な周波数応答となった。既報の手法を本研究に適用すると漸軟特性は生じず，本報の構造では他の効果を考慮する必要があることが明らかになった。