[16a-B414-1~10] 17.3 層状物質

△ [16a-B414-6] その場観測プラズマ原子置換法によるTMDヤヌス化反応における気相内活性種効果の解明

〇中條 博史^1,2、青木 颯馬¹、岩本 裕太¹、金子 俊郎¹、加藤 俊顕¹ (1.東北大院工、2.(株)KOKUSAI ELECTRIC)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド、ヤヌスTMD、その場観測

マイルドプラズマ反応を活用した原子置換反応中の光学スペクトルを直接計測可能なその場観測ヤヌス化装置を開発した。さらに、同装置に四重極質量分析器(Q-mass)を組み込み、ヤヌス化反応中の気相内の活性種計測も同時に行える機構とした。本装置を用いて、ヤヌス化反応をラマン分光法と蛍光発光(PL)分光法によりリアルタイムで計測し、その際の気相活性種をQ-massで計測することで、TMDのヤヌス化反応における気相内活性種の効果を解明した。