[16a-D405-1~8] 6.6 プローブ顕微鏡

[16a-D405-6] 特徴点マッチングを用いたナノスケールイメージングに向けた自動ドリフト補正システム

〇(DC)DIAO ZHUO¹、上田 啓一^1,2、Hou Linfeng¹、山下 隼人¹、Custance Oscar³ (1.阪大院基礎工、2.都産技研、3.物材機構)

キーワード：プローブ顕微鏡自動化、熱ドリフト

ナノスケールにおける超高精度かつ自動のリアルタイムドリフト補正の手法について発表する. 本手法は特徴点マッチングを基づく手法であり, 我々が考案したフィルタにより, イメージング中表面の吸着物の変化やコントラストの変化にもロバストである. 本手法は室温上, 72時間を超えてドリフト補正を行い続けて, 試料同じエリアに固定することに成功した.