[16a-D411-1~7] 9.4 熱電変換

[16a-D411-3] 微細加工技術を用いた薄膜型熱電デバイスの開発

〇大久保 勇男¹、村田 正行²、大井 暁彦¹、Mariana S. Lima^1,3、櫻井 岳暁³、相澤 俊¹、森 孝雄¹ (1.物材機構、2.産総研、3.筑波大)

キーワード：熱電デバイス、薄膜、微細加工

熱電半導体Mg₂Sn_0.8Ge_0.2のエピタキシャル薄膜試料に微細加工を施すことにより、多数の微小なπ接合からなる薄膜型熱電デバイスの作製に成功した。作製した熱電デバイスは、IoT(Internet of Things)機器の駆動に必要な目安となる0.5 V以上の出力電圧と、21 mW·cm⁻²の良好な出力密度を示した。