[16a-D519-1~14] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 量子ビーム界面構造計測、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

△ [16a-D519-12] 中性クラスタービーム照射とVUV光を用いた金属膜のALE

〇田中 秀幸¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県大工)

キーワード：原子層エッチング、中性クラスタービーム