[16a-D519-1~14] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 量子ビーム界面構造計測、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

△ [16a-D519-2] Au-Siイオン照射で形成されるSiO₂表面のナノ構造を利用したAuナノ粒子の形成

〇内田 真裕人¹、一宮 正義²、番 貴彦²、柳澤 淳一² (1.滋賀県立大院工、2.滋賀県立大工)

キーワード：イオン注入、金ナノ粒子

金シリコン共晶合金液体金属イオン源からの2 keV以下のイオン照射で形成されるSiO₂表面の数10 nmのナノ突起構造を利用した金ナノ粒子の形成を試みた．照射した試料のX線回折では熱処理後にAu(111)，(200)，(220)の回折ピークが鋭くなり，光反射スペクトルでは波長525 nm付近に吸収ディップを確認した．過去の吸収スペクトルの結果から，約30 nmの金ナノ粒子の形成が示唆された．