[16a-D519-1~14] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 量子ビーム界面構造計測、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[16a-D519-8] サイズと価数が異なる液滴イオンによるスパッタ特性

〇二宮 啓¹、常木 誠之助¹、チェン リーチュイン¹、平岡 賢三¹ (1.山梨大工)

キーワード：エレクトロスプレー、イオンビーム、液滴イオン

我々は水溶液を真空下でエレクトロスプレーすることによって発生させた液滴イオンをそのままイオンビームとして利用する、真空エレクトロスプレー液滴イオン(V-EDI)に関する研究開発を進めてきた。本研究では、スプレーを発生させるためのキャピラリーの先端内径やエレクトロスプレー発生電圧を変化させると、ビームに含まれる液滴イオンのサイズやその分布およびスパッタ特性がどのように変化するのかについて報告する。