[16a-PA06-1~13] 3.7 光計測技術・機器（旧3.8）

[16a-PA06-8] 光学キャビティ効果を用いた水素ガスセンサの開発

〇高橋 幸希¹、世古 暢哉¹、重村 幸治¹、三浦 聡¹、山根 治起²、梁瀬 智²、高橋 慎吾²、山川 清志² (1.Tianma Japan、2.秋田産技センター)

キーワード：水素ガスセンサ、光学干渉、キャビティ

【水素検知層（反射層）/光干渉層/ハーフミラー層】積層膜における光学キャビティ効果を用いて、水素ガスを高感度に検知できるセンサの検討を行った。斜入射光学系では、光学キャビティにおいてp偏光とs偏光が異なる干渉条件を示す。直線偏光を積層膜に照射し、水素ガスと検知層との反応によるp,s偏光の反射強度の変化を計測することにより、水素ガス計測を実証した。