[16a-PA06-1~13] 3.7 光計測技術・機器（旧3.8）

[16a-PA06-9] 光導波路を用いた高出力・高速近赤外分光器の開発

〇佐原 純輝¹、五十嵐 彩¹、赤井 伸伍¹、世良 英之¹、川越 寛之¹、横山 拓馬¹、山田 剛¹ (1.ウシオ電機株式会社)

キーワード：近赤外分光、高速分光、インラインモニター

試料の化学情報を非破壊で計測できる近赤外分光法は、食品や化学分野での全数検査への応用が期待されている。超高速な分光手法としてパルス伸長分光法が研究されているが、出力制限や装置の大型化などの課題がある。我々はパルス伸長分光法にアレイ導波路回折格子（AWG）を適用した高出力・高速な近赤外分光装置（パルス分光装置）を開発した。試料照明強度60 mWの高出力および測定レート1.2 MHzの高速性を実現した。