[16p-A302-1~8] マイクロ・ナノスケール微細加工の表面界面先端技術

[16p-A302-3] シリコン酸化膜エレクトレットのＭＥＭＳアクチュエータ・エナジーハーベスタ応用

〇年吉 洋¹ (1.東大生産研)

キーワード：ＭＥＭＳ、エレクトレット、エナジーハーベスタ

シリコン系ＭＥＭＳと整合するエレクトレットの形成手法として、カリウムをドープしたシリコン酸化膜を高温、高電界下で帯電する技術を開発した。またその応用例として、静電型の音響スピーカーや振動発電素子を試作した。講演ではエレクトレットの形成手法とＭＥＭＳデバイスとのトータルプロセス手法に加えて、エレクトレット電位の設計手法、エナジーハーベスタ等価回路設計手法と最近の素子特性等について解説する。