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[16p-A401-14] Cat-CVD法で形成した単層および積層ガスバリア膜のペロブスカイト層の保護効果
キーワード:ペロブスカイト
大気下でのMAPbI3の劣化抑止のための、Cat-CVDでの単層SiNx及び積層SiOxNy/SiNxガスバリア膜の形成に関し、ペロブスカイト膜の劣化速度への影響を調査した。X線回折と反射・透過スペクトルの測定結果において、ガスバリア膜堆積により1000 hの大気曝露後にもPbI2のピークが確認されず、ガスバリア膜がMAPbI3の安定性を向上することを確認した。また、膜堆積時のH2流量が小さいほど、単層でも多層でも大気曝露1000 h後の吸収率が他の試料より高いことを確認した。このことは、H2の分解によって生成されるHラジカルが、MAPbI3に影響を与える可能性を示唆する。