[16p-A402-1~10] プラズマ駆動型科学とは何か～プラズマプロセスの新展開に期待して～

[16p-A402-5] 半導体における計測インフォマティクス

〇冨谷 茂隆^1,2,3 (1.ソニーセミコンダクタ、2.ソニーグループ、3.東工大)

キーワード：計測インフォマティクス、半導体、電子線損失分光

近年、計測・分析技術の進化により、大量かつ複雑なデータが得られるようになると、それらを処理し、その持つ意味や新しい知識を引き出すための手法が求められるようになってきた。講演では、計測インフォマティクスの重要性を述べた後、最近の研究事例や筆者らの半導体解析事例などを示しながら、計測インフォマティクスの課題と今後の期待を述べる。