[16p-A409-1~17] 6.1 強誘電体薄膜

△ [16p-A409-15] エピ音響ブラッグ反射器およびエピScAlN, MgZnO圧電薄膜から成るSMR

〇渡海 智^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3,4,5 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST、5.JST-START)

キーワード：SMR、エピタキシャル成長、BAWフィルタ

BAWフィルタでは、密集した無線バンド間の干渉を防ぐために優れた急峻性 (Q値)が望まれる。圧電層に単結晶薄膜を用いれば、Q値が向上することが期待できる。本研究では、SMRの高/低音響インピーダンス層にいずれも金属薄膜を用いることで、サファイア単結晶基板上に音響ブラッグ反射器をエピ成長させた。その上に圧電薄膜をエピ成長させ、すべての層がエピタキシャル薄膜から成るSMRの実現を試みた。