[16p-A501-1~15] 3.10 フォトニック構造・現象（旧3.11）

△ [16p-A501-6] バレーフォトニック結晶導波路と共鳴トンネルダイオードの集積化

〇伊豫田 圭¹、山神 雄一郎¹、西田 陽亮²、村上 修一³、冨士田 誠之¹、永妻 忠雄¹ (1.阪大基礎工、2.ローム、3.大阪産業技術研)

キーワード：バレーフォトニック結晶、共鳴トンネルダイオード

近年，バレーフォトニック結晶のロバスト性が注目を集め，テラヘルツ帯への展開が報告されている．しかしながら受動素子応用に限られており，能動素子の集積化が期待される．今回，テラヘルツ帯で動作する能動素子である共鳴トンネルダイオードをバレーフォトニック結晶導波路へと集積したデバイスを作製し，特性を評価したので報告する．