[16p-B409-1~8] 3.12 半導体光デバイス（旧3.13）

[16p-B409-6] 転写プリント法によるダイヤモンド上InP系メンブレンレーザーの作製

〇(M1)佐藤 拓未¹、前田 圭穂²、相原 卓磨²、藤井 拓郎²、山岡 優²、開 達郎²、武田 浩司²、瀬川 徹²、岩本 敏³、荒川 泰彦⁴、松尾 慎治²、太田 泰友¹ (1.慶大理工、2.NTT先端集積デバイス研究所、3.東大先端研、4.東大ナノ量子機構)

キーワード：半導体レーザー、ダイヤモンド、転写プリント

光通信用光源におけるInP系メンブレンレーザーの極限性能追及には排熱特性の向上が重要となる。そこで我々は熱伝導性に優れたダイヤモンド基板上へレーザー構造を形成する技術の開発を行っている。特に自在な異種材料集積が可能な転写プリント法を用いたレーザー作製を進めている。今回、研磨・洗浄による基板の平坦化を行いダイヤモンド基板上へのInP系メンブレンレーザーの転写プリント集積に成功したので報告する。