[16p-E302-1~10] 究極のラボ・オートメーション：半導体ギガFabを実験用巨大ロボットとして動かせるか？

[16p-E302-1] オープニング「なぜ、いま、半導体ギガFab？」

〇秋永 広幸¹ (1.産総研デバイス技術)

キーワード：半導体、ギガFab、ラボ・オートメーション