[16p-PA09-1~18] 6.4 薄膜新材料

[16p-PA09-1] パルスレーザ堆積で作製したPb(Zr_0.52, Ti_0.48)O₃薄膜の化学組成変化

〇(B)西川 直希¹、大西 亜未¹、廣﨑 紀光²、西川 博昭¹ (1.近畿大生物理工、2.太洋工業研究開発部)

キーワード：Pb(Zr0.52, Ti0.48)O3、パルスレーザ堆積、レーザフルエンス