[16p-PA09-1~18] 6.4 薄膜新材料

[16p-PA09-8] ZnOナノロッドバッファ層導入によるpolyimide上VO₂膜のIMT特性の改善

〇(M1)小澤 雪斗¹、宮武 佑多¹、沖村 邦雄¹ (1.東海大院工)

キーワード：スマートウインドウ、薄膜、ポリイミド

二酸化バナジウム(VO₂)は68℃程度の温度によって電気特性や光学特性が変化する相転移材料として知られている. 本研究ではこのVO₂の成長基板として柔軟なポリイミドを採用した. また, ポリイミド上VO₂結晶の結晶成長促進のためバッファ層として, スパッタ装置で成膜した酸化亜鉛と水熱合成によって成膜したナノロッド酸化亜鉛の二種を採用し比較した.