[16p-PA10-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[16p-PA10-10] 畳み込みニューラルネットワークを用いた SPM 探針先端修復システム

〇(DC)DIAO ZHUO¹、Hou Linfeng¹、Custance Oscar²、阿部 真之¹ (1.阪大院基礎工、2.物材機構)

キーワード：プローブ顕微鏡自動化、ディープラーニング、畳み込みニューラルネットワーク

走査型プローブ顕微鏡(SPM)の計測は探針先端の状態に依存する. 我々が開発したシステムは, 走査できないSPM探針を自動で高原子分解能の走査ができる探針に自動で修復することができたので報告する. 本手法は, 走査画像から探針の先端状態の特徴を, 畳み込みニューラルネットワークで学習させた. 探針先端の自発的な改変を誘発することで, システムは実験者が望んだ探針の先端状態に持っていくことができた.