[16p-PB02-1~15] 12.6 ナノバイオテクノロジー

[16p-PB02-8] モデル誤差補償器による高速制御のためのスキャナ制御の検討

〇宮下 和己¹、金田 駿哉¹、渡邉 信嗣² (1.金沢大・数物、2.金沢大・WPI-NanoLSI)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、フィードバック制御