[17a-A405-1~9] 3.6 Laser processing (formerly 3.7)

[17a-A405-3] Determining the boundary of thermal and nonthermal laser-induced breakdown threshold

〇Tsubasa Endo¹, Shuntaro Tani¹, Haruyuki Sakurai¹, Yohei Kobayashi¹ (1.ISSP, Univ. Tokyo)

Keywords:thermal laser processing, dimensionality of heat diffusion, pulse duration dependence

レーザー加工における、1温度系の温度上昇と相変化で記述できる熱的領域と、そうでない非熱的領域との境界を定量的に明らかにするため、我々は前回報告した計6桁にわたる銅の閾値パルス幅依存性の測定結果について、データの解釈を進めた。熱的過程が従うべき理論曲線を実験データにフィッティングすることで、熱的領域を特徴づける実効的な物性パラメタを決定し、それによって非熱的領域を熱的領域から定量的に分離できた。