[17a-A405-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[17a-A405-5] 中赤外線自由電子レーザーパルス列を用いた微細周期構造形成のポンププローブ計測

〇升野 振一郎¹、橋田 昌樹^1,2、全 炳俊³、時田 茂樹¹ (1.京大化研、2.東海大総科研、3.京大エネ研)

キーワード：微細周期構造、半導体、中赤外線自由電子レーザー

中赤外線(11.4μm)の自由電子レーザーパルス列(350ps間隔で6000パルス以上)で形成した微細周期構造(LIPSS)を532nmのNd:YAGレーザーを用いて、時間分解観察した。これまでの研究ではパルス数を制御して実験することができなかったが、この実験によりパルス列の初期にできたLIPSSはパルス列の後半部分では消失していることが分かった。