[17a-B309-1~10] 17.2 グラフェン

[17a-B309-10] 光電子制御プラズマ処理によるグラフェンの修飾

〇鷹林 将¹、福田 旺土¹、塚嵜 琉太¹、古賀 永¹、山口 尚登²、小川 修一³、高桑 雄二³、津田 泰孝⁴、吉越 章隆⁴ (1.有明高専、2.ロスアラモス国立研究所、3.東北大学 多元研、4.日本原子力研究開発機構)

キーワード：グラフェン、光電子制御プラズマ

グラフェンはその特異な物性から、電界効果トランジスタのチャネル材料やガスバリア膜など幅広い応用が期待されている。グラフェンの可能性をより引き出すために、その化学修飾や改質に広く挑まれている。本発表で我々は、独自の光電子制御プラズマを用いたグラフェンの精密制御を報告する。