[17a-B309-1~10] 17.2 Graphene

[17a-B309-10] Modification of Graphene by Treatment of Photoemission-assisted Plasma

〇Susumu Takabayashi¹, Akito Fukuda¹, Ryuta Tsukazaki¹, Hisashi Koga¹, Hisato Yamaguchi², Shuichi Ogawa³, Yuji Takakuwa³, Yasutaka Tsuda⁴, Akitaka Yoshigoe⁴ (1.National Institute of Technology, Ariake College, 2.Los Alamos National Laboratory, 3.IMRAM, Tohoku Univ., 4.Japan Atomic Energy Agency)

Keywords:Graphene, Photoemission-assisted Plasma

グラフェンはその特異な物性から、電界効果トランジスタのチャネル材料やガスバリア膜など幅広い応用が期待されている。グラフェンの可能性をより引き出すために、その化学修飾や改質に広く挑まれている。本発表で我々は、独自の光電子制御プラズマを用いたグラフェンの精密制御を報告する。