[17a-B401-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17a-B401-1] ナノパターングラフェンマスクを用いたr面サファイア基板上での
a面GaNマイクロチャンネルエピタキシーに与える成長温度の効果

〇(M2)加藤 雄騎人¹、野々垣 誠望¹、丸山 隆浩¹、成塚 重弥¹ (1.名城大理工)

キーワード：窒化ガリウム、MBE