[17a-D221-1~10] 11.4 アナログ応用および関連技術

[17a-D221-1] メンブレンを用いたSTJ検出器の基板除去によるノイズ低減評価

〇野口 剛志^1,2、柴﨑 大我¹、藤井 剛²、志岐 成友²、菊地 貴大²、田井野 徹¹ (1.埼玉大院、2.産総研)

キーワード：超伝導トンネル接合検出器、STJ検出器、軽元素分析

超伝導トンネル接合(通称：STJ)検出器は通常Si基板上に作製され、検出器厚は数100 nmと非常に薄い。そのため、入射した高エネルギーX線の多くはSi基板に吸収され、フォノンノイズとして大きなノイズ要因となっている。そこで、Si基板を除去した構造を実現させるため、SiO₂/SiN/SiO₂からなる自立メンブレン上に形成されるSTJ検出器の開発を行い、フォノンノイズの低減効果を検証した。